品名 | 浓度 (%) | 平衡气体 | 压力(MPa) | 容积(L) | 阀门 |
硅烷混合气体 | 0.5-50 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-47 | 可根据用户要求提供 |
磷烷混合气体 | 5ppm-23 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
硼烷混合气体 | 5ppm-10 | Ar、N2、He、H2 | 5-10 | 4-17 | |
砷烷混合气体 | 5ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
硒化氢混合 | 10ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-17 | |
乙硅烷 | 5ppm-2 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.7-17 | |
锗烷 | 5ppm-0.5 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.2-17 |
包装:1-40(升)瓶装,标准充装压力:9.5 MPa,组分和浓度范围可根据要求配制。